国内首条全自主可控高端光刻胶生产线投产 3至5条晶圆产线所需原料有了本土支撑

国内首条全自主可控高端光刻胶生产线投产 3至5条晶圆产线所需原料有了本土支撑

芯片制造圈里有个常识:光刻机与光刻胶必须严丝合缝地匹配。

原理并不复杂,光刻机把光线投射到涂有光刻胶的硅晶圆上,借由光学化学反应,将电路图案“印”在晶圆表面,最终化作芯片成品。光线类型对应特定的光刻胶种类,两者绝不能混用。更关键的是,光刻胶的品质直接关乎芯片良率。

因此,光刻胶按工艺分为G线/I线、KrF、ArF、ArFi、EUV等类别,这与光刻机的分类逻辑基本一致,应用时也讲究一一对应,跨品类使用根本行不通。

放眼全球市场,日本企业在这块领域占据了绝对垄断地位,手握全球80%的份额。层级越高的产品,日企占比越大;至于最顶级的EUV光刻胶,目前仅有日本具备生产能力。

反观国内,光刻胶国产化之路走得颇为艰难。即便到了2025年,整体国产化率预计也仅在28%左右,且呈现出越高端、国产率越低的尴尬局面。

具体来看数据:最低端的G线/I线国产化率尚有65%,而高端的浸润式ArF光刻胶国产化率不足3%,EUV领域则是一片空白,国产化率为0。

需要厘清一个误区:即便28%的国产化率看似让国内具备了生产ArF级光刻胶的能力,但背后的生产设备与核心原料仍高度依赖进口。这意味着,所谓的“自主”尚未完全实现闭环。

业界一直期盼国产光刻胶能达成全流程100%自主可控,从原材料到生产设备彻底本土化,唯有如此,才能真正斩断“卡脖子”的风险。

如今,这一愿景终于照进现实。鼎龙股份近日正式宣布,成功打通了“有机合成—高分子合成—精制纯化—光刻胶混配”的全链条自主制备工艺,建成了国内首条全流程自主可控的高端光刻胶生产线。这条产线实现了从原料、设备到生产制备的全面独立,彻底规避了上游依赖进口的隐患。

产能方面,该产线年产量高达330吨,纯度达到99.999%,是国内单体规模最大的高端光刻胶生产线,足以满足3至5条12英寸晶圆产线一整年的需求。

技术上,该生产线可制造KrF和ArF高端光刻胶,覆盖范围从90nm延伸至28nm制程节点。未来,其技术边界有望进一步拓展至14nm等更先进的工艺领域。

此消息一出,恐怕最坐不住的就是日本企业。长期以来,他们凭借光刻胶的垄断优势四处施压,甚至曾扬言以断供相威胁。

但随着中国企业实现自主突破,凭借中国制造在产能、性能与成本上的综合优势,未来在全球市场的份额必将节节攀升。届时,日本企业该如何应对,便成了最大的悬念。